Adsorción electrostática de ventilador de ion
En la industria del LCD, el sustrato de vidrio se hace más grande y también se ha mejorado la capacidad de atraer cargas. Debido al gran tamaño del sustrato, cualquier tipo de contaminación puede resultar en una disminución en el rendimiento. Como otras industrias de control de la contaminación, la industria del LCD ha estado buscando nuevos materiales que pueden resolver problemas ESD. Materiales utilizados en salas limpias también son más propensos a usar sopladores antiestáticos ion y nuevos materiales pueden ser intentados en torundas de algodón y trapos en vez de los materiales tradicionales.
El mayor problema con control ESD en una sala limpia es el movimiento de personas en la sala limpia. Porque la gente usa un montón de telas de poliéster, que generan una gran cantidad de carga eléctrica. La única manera de eliminar esta carga en una sala limpia es de tierra.
En los últimos cinco años, se ha encontrado que un sistema de ropa compuesto por una mezcla de fibra de carbono y tela proporciona requisitos de sala limpia ISO 5 (clase 100).
Cada parte de la prenda tiene la misma conductividad eléctrica y una conexión eléctricamente conductora de la campana a la suela. Las personas que trabajan en una sala limpia pueden caminar a través de la planta del pie conductor sin conexión a tierra al usar estas prendas, por lo que no están limitados por la longitud del cable de conexión.
La aparición de dicha ropa de trabajo es el resultado de altas demandas del producto, que ayuda a reducir el bajo rendimiento y alta tasa de malo causado por problemas ESD en la sala limpia.
No existe ningún método de reparación rápido y barato para el control de ventilador de ion ESD. La clave está en controlar el ESD, como un ventilador de iones suspendidos de flujo laminar, o instalar un ventilador de ion al lado del material que necesita para controlar ESD. A medida que disminuye el tamaño del chip (IC), llega a ser más sensible a ESD. Ahora, el control de ESD no se limita a la protección de la red de trabajo, sino también el control de la oblea y el personal que produce la oblea. Muchas empresas con altos estándares son control de ESD en esta forma.
